判断系统是否达到衍射极限有多种方法：光程差（OPD）峰-谷值小于1/4波长时，可认为系统为衍射极限——此时系统整体性能受限于衍射物理效应而非像差。斯特利尔数（Strehl Ratio）是另一种常用判据，定义为有像差时PSF峰值与无像差时PSF峰值之比。当像差较大、PSF峰值模糊时斯特利尔数失去意义（通常比值小于0.1时不宜使用）。其他方法还包括RMS OPD、标准差和最大斜率误差等。
注意：使用不同方法评估同一系统可能得到不同结论——一种方法判定为衍射极限的系统，用另一种方法可能不是。波前像差小于1/4波长的系统应使用衍射分析工具（如Huygens MTF、PSF），而非几何分析工具。
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