在优化完成后,固定曲率半径、中心厚度和元件尺寸后执行公差分析。公差分析涉及确定透镜系统对公差的灵敏度(灵敏度分析)和估算良率(yield estimation)。公差分析不必是最后一步——可在优化与公差分析之间来回切换。Zemax中至少有两个操作数可用于降低公差灵敏度:TOLR和HYLD。有时将公差灵敏度直接纳入MFE中。
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