瑞利判据:
当某一物点的衍射图样的中央最大与另一物点的衍射图样的第一最小重合时,两衍射图样中心之间的光强度约为中央最大的百分之八十,此时两物点的距离就作为光学仪器所能分辨的最小距离。
Δϕ为最小分辨角:Δϕ=ϕ1=1.22*λ/d
1895年英国物理学家瑞利以“Airy斑”理论为基础,对“Abbe光学衍射极限理论”进行了进一步的延伸和细化。它指出,当两个艾里斑的第一个暗环刚好与另一个艾里斑的中心重合时,这两个点被认为是可分辨的。根据瑞利判据,两个点光源的最小可分辨距离 d 为:d = 1.22λf/D = 0.61λ/NA,这意味着,要分辨两个紧密相邻的点,它们之间的距离必须大于等于艾里斑的半径。
瑞利判据提供了一个直观且易于理解的分辨界限,适用于大多数光学系统,包括显微镜、望远镜等成像系统。目前光刻机发展的根本遵循则是瑞利判据,瑞利判据也被光刻产业界奉为“金科玉律”。