系统极限分辨本领

RL SYS 是物方空间中受显微术系统限制的横向极限分辨本领。应以线对每毫米表示，例如50lp/mm，其值对应于光学极限分辨本领、传感器极限分辨本领或显示器极限分辨本领中的最小值。

按公式计算系统在物方空间中的系统极限分辨本领：

RL SYS=min(RL OPT;RL SEN;RL DIS)

RL SYS——物方空间中的系统极限分辨本领，单位为线对每毫米(lp/mm)

RL OPT——物方空间中的光学极限分辨本领，单位为线对每毫米(lp/mm)

RL SEN——物方空间中的传感器极限分辨本领，单位为线对每毫米(lp/mm)

RL DIS——物方空间中的显示器极限分辨本领，单位为线对每毫米(lp/mm)

注：如果RL SYS小于RL OPT，图像质量可能会受莫尔效应的限制，特别是在检查周期性结构的试样时。

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