| Zernike多项式系数 | Zernike项 | 物理意义 | Descriptor |
| Z1 | 1 | 平移 | piston |
| Z2 | ρcosθ | 沿X轴倾斜/畸变 | x tilt |
| Z3 | ρsinθ | 沿Y轴倾斜/畸变 | y tilt |
| Z4 | 2ρρ-1 | 离焦/场曲 | defocus |
| Z5 | ρρcos2θ | 45度方向像散 | Astigmatism X |
| Z6 | ρρsin2θ | 0或90度方向像散 | Astigmatism Y |
| Z7 | (3ρρρ-2ρ)cosθ | X轴彗差 | Coma X |
| Z8 | (3ρρρ-2ρ)sinθ | Y轴彗差 | Coma Y |
| Z9 | 6ρρρρ-4ρρ-1 | 球差 | Primary spherical |
默认单位波长，为测试光束波长，干涉仪一般是632.8nm,可以转化为nm或um, 从上到下分别为位置、两个倾斜，离焦或power，两个方向的像散，一般前三项检测中不看，看4-9项，分别是离焦、两个方向的像散，两个方向的彗差加球差，有些干涉仪会将像散和彗差转化为有方向和大小的向量。
《不同Zernike多项式的区别和应用（Zernike polynomials and their applications）》
《Zernike Polynomials: Evaluation, Quadrature, andInterpolation》
《Straightforward path to Zernike polynomials》
《泽尼克圆多项式分解波像差(Zernike polynomial)》
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