当需要精确的数值来判断是否满足设计指标(如 ≤ 2 nm/cm)时,就必须使用定量方法了。
自动偏光应力测量仪
这是目前工业和实验室中最先进、最高效的定量测量解决方案。
它的基本原理是集成了计算机控制的偏振态发生器(PSG)和偏振态分析器(PSA)。仪器自动向样品发射一系列已知的、变化的偏振光,并检测透射或反射光的偏振态变化。通过穆勒矩阵算法,精确计算出样品各点的延迟量(即光程差)和快轴方向。
测量仪器输出结果是全场应力分布图,以伪彩色图直观显示整个镜片的应力大小和分布。输出精确数值可以直接读取任意点的光程差(nm)或单位长度光程差(nm/cm)。同时可生成最大值、最小值、平均值等统计报告,用于判定是否达标。
这种方法的优点就很明显了,全自动、高精度、高速度;全场定量,无需逐点测量;可直接与标准(如ISO 10110)对接,输出客观的检测报告。
当然它的缺点也很明显,设备昂贵,除了贵,没别的问题。
出名的厂商有hinds、ilis、photonic lattice等。