[问题]在激光共聚焦显微镜中通过光谱干涉法实现膜厚测量。
解决方法：激光共聚焦显微镜由将激光照射到样品SP的激光光源61和根据样品SP处反射光的光接收强度产生受光信号的受光部66和向样品SP照射白光的白光源51组成。 其设有基于白光反射光生成样品SP的相机图像的成像单元58、基于接收信号测量样品SP表面形状的测量单元、根据各波长的光接收强度生成受光信号的光谱仪12、将白光的反射光从样品SP中转移的光学分支单元91a，测量单元设有基于受光信号测量样品SP表面形状的测量单元。 基于光谱仪12产生的光接收信号，测量样品SP的膜厚。
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