Mirau型白光干涉物镜的半反射镜HM和参考镜RM关键参数分析_白光干涉(WLI)_显微镜

白光干涉(WLI): Mirau型白光干涉物镜的半反射镜HM和参考镜RM关键参数分析

时间：2026-04-02 13:57:11 作者：Leslie 来源：正势利阅读：24 评论：0

内容摘要：《白光干涉(WLI)光学系统种类(Michelson、Mirau、Linnik)》《白光干涉物镜NA与选型对应关系——Michelson(0.07-0.13)、Mirau(0.3-0.7)、Linnik(>0.9)》Mirau型白光干涉物镜的干涉组件关键参数分析：

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标签：参考关键分析参数反射

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