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光学工艺

光圈、局部光圈与PV、RMS之间的关系与区别

时间:2018/3/16 22:34:03   作者:郑士利   来源:正势利   阅读:769   评论:0
内容摘要:面型是光学制造中的重要精度指标之一,简单来说是表面不平整度;这就好像铺水泥路面,铺的好的表面很平整,没有坑坑洼洼,车子开过去好的路面很平稳、不好的坑坑洼洼的,就颠簸得厉害!面型的两个参数PV和RMS值,PV是表示路面的最高处与最低处的差值,RMS值是全部路面高低的平均值;因此PV值能够做到0.1个波长,RMS值至少在0...

面型是光学制造中的重要精度指标之一,简单来说是表面不平整度;这就好像铺水泥路面,铺的好的表面很平整,没有坑坑洼洼,车子开过去好的路面很平稳、不好的坑坑洼洼的,就颠簸得厉害!面型的两个参数PV和RMS值,PV是表示路面的最高处与最低处的差值,RMS值是全部路面高低的平均值;因此PV值能够做到0.1个波长,RMS值至少在0.02左右,一般来说,PV值是RMS值的6-8倍。目前很多商家说出所谓的1/8波长或1/10波长实际上多指RMS值,其PV值往往达不到1个波长,而良好的天文观测器材应该具备PV=1/2波长才算是精度比较的。 

在实际中,光学图纸对光学零件的要求用光圈数(N)和局部光圈表示,而在加工出来后用ZYGO干涉仪检测却是pv和rms值,用ZYGO可以测出光圈,局部光圈,PV。RMS。不同的设置测出来的是不同的。并不是出来的都是PV。光圈和PV的关系是:光圈好的。PV肯定好。PV好的。光圈不一定好。PV是光圈的波峰和波谷的相对值。不考虑局部误差的影响。说光圈时一般要考虑局部光圈误差的影响。

用ZYGO仪器测量光学零件的光圈(N),读的不是很准,要读的话就是软件上面surface map 中的power值,不过要把单位转化成光学单位。至于局部光圈读profile map中的pv直,很准确,把surface map 中的line放在最高点和最低点位置,看高或低所占的pv的比例就行。


图纸中的光圈数是加工元件与样板的偏差而产生的干涉条纹数;而干涉仪测量时,参考球半径(类似于样板半径)可变,条纹多少是可以变化的,测量结果(PV和RMS值)是加工元件与最接近参考球的偏差

一道圈是面型偏差有二分之一个波长大小,546.1nm是标准波长,PV是面型偏差的最大值,除以546.1就是几分之几波长,和二分之一个波长比较,有几个二分之一波长就有几道圈. 

总之呢,光圏和PV、RMS是两种不同的评价标准。局部光圈如果作为PV来评价的话,是比对的PV值还要高。












 




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